TBM-800 半导体检测仪是检测双极型晶体管的基区宽度,半导体晶片的直径、平整度、光洁度、表面污染、伤痕等,刻蚀图形的线条长、宽、直径间距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的仪器。配备大视野目镜与偏光观察装置,透反射照明采用“柯勒”照明系统,视场清晰。可用于半导体硅晶片、LCD基板、电路板、固体粉未及其它各种透明或不透明工业试样的检验,是生物学、金属学、矿物学、精密工程学、电子工程学等研究的理想仪器,广泛应用在工厂、实验室和教学及科研等领域。
二、产品特点
配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片),视场大而清晰。配置大移动范围的载物台,能快速和慢速移动。粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm。6V 20W卤素灯,亮度可调。三目镜筒,可自由切换正常观察与偏光观察,可进行100%透光摄影。不仅可以在目镜上作显微观察,还能在计算机显示屏幕上观察实时动态图像,并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。
三、技术参数
1.目镜
类型 放大倍数 视场(mm)
大视野目镜 10X φ18
2.物镜
类别 放大倍数 孔径数值 工作距离(mm)
长距平场消色差物镜 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.0
80x 0.80 1.2
3.光学放大倍数:50X 100X 200X 400X 800x
4.三目镜,倾斜30?,(内置检偏振片,可进行切换)
5.五孔转换器 (外向式滚珠内定位)
6.载物台:三层机械移动式,尺寸: 250mmX230mm,移动范围: 154mmX154mm
7.粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置
8.照明系统:6V 20W卤素灯,亮度可调;带视场光栏、孔径光栏,起偏振片,,
9.滤色片组:(黄,蓝,绿,磨砂)
10.特有防霉系统
四、系统组成
(TBM-800):1.显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.A/D(图像采集)
五、总放大参考倍数
TBM-800型:50—3500倍
六、选购件
1.目镜:16X 10X分划 2.物镜:50X 60X 100X 3.二维测量软件